    
Раздел: Документация
0 ... 2 3 4 5 6 7 8 ... 60  Рис. 8. Спектр сиихротрониого излучения «—спектральная плотность энергии излучения; для сравнения указаны аекоторые объекты с размерами того же порядке, что в длина волны фию приходится вести в коротковолновых рентгеновских лучах, ио их интенсивность мала, а расходимость велика. Пучки синхротронного излучения превосходят рентгеновские по этим свойствам и позволяют экспонировать мельчайшие полосы на шаблоне. В эксперименте на фоторезисте с высоким разрешением удавалось отобразить фигуры размером 0,5—1,0 мкм. Однако экспериментальных данных пока мало, еще не исследованы многие практические проблемы, например не подобраны материалы с подходящими спектральными характеристиками для фотошаблона и фоторезиста. Источники синхротронного излучения применяют для исследования поверхностей и контактов материалов электроники путем получения спектра фотоэлектронов. Благодаря спектральной стабильности, высокой интенсивности и хорошей поляризации, синхротронное излучение как источник возбуждения может способствовать получению информации о поверхности и контактах как полупроводников, так и структур типа барьера Шотки, возникающих при контакте металла с полупроводником. Что такое поляризация? Свет — это электромагнитная волна. Векторы напряженности электрического и магнитного поля электромагнитной волны расположены в плоскости, перпендикулярной направлению ее распространения, и периодически изменяются по величине и направлению. Поляризация света — характеристика неравномерности распределения по направлению амплитуд колебаний этих векторов. Если излучение монохроматическое, векторы колеблются с некоторой постоянной частотой и их можно представить в виде суммы двух взаимно перпендикулярных составляющих х и у. Если разность фаз колебаний по направлениям х и у равна нулю, то их суммарный вектор колеблется в одной плоскости. Аналогично для разности фаз, равной ля, где п — целое число. Такой случай называют линейной поляризацией, а плоскость, перпендикулярную направлению колебаний (обычно магнитного вектора), — плоскостью поляризации. Если разность фаз колебаний по направлениям х и у ие равна ли, то конец вектора электрического поля описывает поверхность эллиптического цилиндра. Такой случай называют эллиптической поляризацией. А если разность фаз при одинаковых амплитудах составит л/2 или (2л—1)л/2, где п — целое число, то эллиптический цилиндр станет круговым, а поляризация — круговой поляризацией. Различают правую и левую (по отношению к наблюдателю) круговую поляризацию. На рис. 9 показано изменение поляризации света при изменении разности фаз от 0 до 180°. В естественном свете направление электрического вектора изменяется случайным образом, и если его модуль усреднить по времени, то поляризации не наблюдается. Поэтому естественный свет считают неполяризованным. Знакомый всем пример — поляризация света при отражении стеклом или поверхностью воды. В частности, как показано на рис. 10, если угол между преломленным и отраженным лучами прямой, то отраженный свет поляризуется полностью. Угол падения света в этом случае называют углом Брюстера, а само явление используют для линейной поляризации света в резонаторе лазера, располагая торцы лазер-  © VL ©Г© i ©J ©I©J тс 5rc/4 Zk/Z 7n/4 y=Zn Рис. 9. Результирующая поляризация в зависимости от изменения разности фаз составляющих /, S, 9 — линейная, 3, 4. 6, в —эллиптическая, 3, 7 — круговая поляризация ной трубки (рабочего тела) под нужным углом к оси резонатора. Созданы и специальные поляризационные приборы— поляризаторы. Например, турмалиновая пластинка, поляроид, поляризационная призма. Поляроид представляет собой пластмассовую пластинку с запрессованными в нее одинаково ориентированными анизотропными кристаллами небольшого размера. Поляризация света в нем происходит за счет поглощения колебаний с определенным направлением электрического вектора. Если вещество состоит из узких и в то же время длинных молекул, то коэффициент преломления вдоль оси ориентации молекул (оптической оси) отличается от коэффициента преломления в перпендикулярном к ней направлении. При прохождении света сквозь I I Рис. 10. Поляризация отражен- ного света i — угол Брюстсра; г — угол преломления; / и 3 — плоскость поляризации перпендикулярна н параллельна плоскости чертежа 7777777 0 ... 2 3 4 5 6 7 8 ... 60 |
